質量流量計是基于熱擴散原理而設計的一款可直接測量氣體質量流量的儀表，其基本原理是在一根直徑很小(4毫米)的薄壁金屬管(常用不繡鋼、純鎳或蒙乃爾臺金等耐蝕合金)的外壁，對稱繞上四組電阻絲，相互聯接組成惠斯頓電橋。

 

　　通過測量儀表內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的，氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

 

　　質量流量計與恒溫差式流量計的結構類似，在測量管路中同樣加入兩個金屬鉑電阻，一個為用于測量被測流體溫度的測溫電阻，另一個為用于測量被測流體速度的測速電阻。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓差來反應流體流量。

 

　　測量出現誤差，檢查方法：

 

　　1、質量流量控制器前端壓力是否發到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程。

 

　　2、零點是否有漂移，首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號。

 

　　3、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃。